多项选择题
A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
A.阳极短路B.阳极断路C.阴极短路D.阴极断路
A.曝光度B.显影液浓度C.显影方法D.工序的温度和时间容量
A.脱水烘烤B.旋转涂布法涂HMDSC.气拍涂底法涂HDMSD.软烘
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