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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员（三级）

多项选择题

影响显影工艺的因素有（）。

A.曝光度
B.显影液浓度
C.显影方法
D.工序的温度和时间容量

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B.旋转涂布法涂HMDS
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D.晶圆表面的洁净
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