问答题
简答题
简述薄膜的主要缺陷类型及特点。
【参考答案】
薄膜的缺陷分为：
点缺陷（晶格排列出现只涉及到单个晶格格点，典型构型是空位和填隙原子，点缺陷不能用电子显微镜直......
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