多项选择题

硅烷法的特点是（）

A.不需用氢还原，甲硅烷可以热分解为多晶硅
B.硅烷气体易于用吸附法提纯
C.易于分解为非晶硅
D.硅烷易爆炸

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多项选择题

A.SiO很容易发生化学反应
B.温度高于1500℃，由SiO₂和SiC反应得到
C.能在1500℃与C发生反应
D.能与氧气发生反应

单项选择题

A.被两条曲线分为三个区域
B.升温到气相线上，正好产生第一个气泡，故气相线又称为泡点曲线
C.降温到液相线，产生第一个液滴，故液相线称为露点曲线
D.降温到液相线上，正好产生第一个气泡，故液相线又称为泡点曲线

多项选择题

A.过高的晶转会使固液界的形状太凹
B.在某些晶转下，棱线或者小平面与直径的读取同步，引起直径的读值和拉速的大幅度跳动
C.晶体和坩埚的旋转方向相同，以改善热场的对称性
D.吊索和晶体出现共振时效果最好