多项选择题

化学法提纯高纯多晶硅的工艺包括（）

A.中间化合物的分离提纯
B.中间化合物的合成
C.中间产物被还原或者是分解成高纯硅还原成高纯硅
D.区域提纯

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多项选择题

A.不需用氢还原，甲硅烷可以热分解为多晶硅
B.硅烷气体易于用吸附法提纯
C.易于分解为非晶硅
D.硅烷易爆炸

多项选择题

A.SiO很容易发生化学反应
B.温度高于1500℃，由SiO₂和SiC反应得到
C.能在1500℃与C发生反应
D.能与氧气发生反应

单项选择题

A.被两条曲线分为三个区域
B.升温到气相线上，正好产生第一个气泡，故气相线又称为泡点曲线
C.降温到液相线，产生第一个液滴，故液相线称为露点曲线
D.降温到液相线上，正好产生第一个气泡，故液相线又称为泡点曲线