多项选择题
A.体积小B.惰性气体C.无污染D.容易驱散
A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
A.构造简单、故障少B.价格低廉C.低振动低噪音D.可高速运转
A.无机械运动部分B.无振动C.无需再生D.无噪音
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