多项选择题
A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
A.构造简单、故障少B.价格低廉C.低振动低噪音D.可高速运转
A.无机械运动部分B.无振动C.无需再生D.无噪音
A.分子泵B.扩散泵C.油回转泵D.低温泵
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