单项选择题
A.光刻B.刻蚀C.掺杂D.外延
A.etchB.ionC.plasmaD.wet
A.发射光谱法B.干涉测量法C.质量分析法D.椭圆偏振法
A.电离→解吸、排放→轰击→扩散、反应B.轰击→电离→扩散、反应→解吸、排放C.电离→扩散、反应→轰击→解吸、排放D.电离→轰击→扩散、反应→解吸、排放
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