单项选择题
刻蚀氮化硅薄膜时，可以用加热的磷酸进行刻蚀，此时的温度一般设置在（）
A.70～100℃
B.130～150℃
C.150～170℃
D.170～200℃
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单项选择题
A.70～100℃
B.130～150℃
C.150～170℃
D.170～200℃
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