单项选择题

PR成分中，除Resin/sensitizer/additives外，还有什么（）

A.酒精
B.NEGA
C.POSI
D.Solvent

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B.投影光学系
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B.Cleaning->Gate Depo->Photo->DRY Etch
C.Gate Depo->Cleaning->Photo->WET Etch
D.Cleaning->Photo->Gate Depo->WET Etch

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PHOTO设备中VCD的作用是（）

A.涂布光刻胶
B.清洗glass基板
C.加热干燥，去除光刻胶里面的solvent
D.真空干燥，去除光刻胶里面的solvent