单项选择题

用四氯化硅氢还原法进行硅提纯时，通过（）可以得到高纯度的四氯化硅。

A.高温还原炉
B.精馏塔
C.多晶沉积设备
D.单晶炉

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单项选择题

A.100-200
B.500-700
C.700-900
D.1600-1800

单项选择题

A.10^-2~10^-5
B.10^-5~10^-7
C.10^-7~10^-10
D.10^-17~10^-20

单项选择题

A.硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法＜三氯化硅氢还原法
B.四氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法
C.三氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法
D.硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法＜四氯化硅氢还原法