单项选择题

完善的精馏技术可将杂质总量降到（）量级。

A.10^-2~10^-5
B.10^-5~10^-7
C.10^-7~10^-10
D.10^-17~10^-20

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单项选择题

A.硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法＜三氯化硅氢还原法
B.四氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法
C.三氯化硅氢还原法＜硅烷热分解法＜四氯化硅氢还原法
D.硅烷热分解法＜三氯化硅氢还原法＜四氯化硅氢还原法

单项选择题

A.长度和宽度
B.电阻率和电导率
C.浓度和结深
D.结深和浓度

单项选择题

A.离子束中混入电子
B.注入机未清洁干净
C.注入过程中晶圆的倾斜角度不合适
D.离子束电流检测不够精准