硅烷的分子式是（）。

A.丙酮
B.氢氧化钠溶液
C.丁酮
D.甲乙酮
E.热的氯化碳氢化合物

A.红外线辐射
B.X射线照射
C.加热
D.紫外光辐射
E.电子束扫描

A.除去光刻胶中剩余的溶剂
B.增强光刻胶对晶片表面的附着力
C.提高光刻胶的抗刻蚀能力
D.有利于以后的去胶工序
E.减少光刻胶的缺陷