单项选择题
A.晶粒尺寸B.晶体结构C.晶面
A.范德华力B.静电力C.表面张力D.自组装力
A.曝光波长B.模板图案尺寸C.数值孔径
A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有关的常数值
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