多项选择题
A.良好的导电性B.与半导体有良好的接触性C.良好的稳定性D.良好的工艺兼容性
A.制备金属类薄膜B.制备金属电极C.制备金属附着层D.制备金属阻挡层
A.工艺温度低B.工艺原理简单C.致密性高D.台阶覆盖良好
A.电阻蒸镀B.电子束蒸镀C.激光蒸镀D.LCVD
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