多项选择题
A.使光通过后产生180度相位差B.提高分辨率C.消除了图形边缘的衍射
A.分辨率高B.显影时曝光部分不溶解，未曝光部分溶解C.分辨率低D.显影时曝光部分溶解，未曝光部分不溶解
A.增大数值孔径NAB.增大曝光波长C.减小曝光波长D.减小数值孔径NA
A.消除驻波效应B.蒸发PR中所有有机溶剂C.提高光刻胶和表面的黏附性D.平滑光刻胶侧壁
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