单项选择题
A.蒸镀 B.离子注入 C.溅射 D.沉积
A.钟罩 B.蒸气源加热器 C.衬底加热器 D.活动挡板 E.底盘
A.隔挡气体交换 B.控制蒸发的过程 C.辅助热量交换 D.温度调节
A.衬底加热器 B.抽气系统 C.真空室 D.蒸气源加热器
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