问答题
简答题
什么是浅槽沟道隔离？其主要作用是什么？说明其主要优点及适用工艺范围？
【参考答案】
是刻蚀掉部分衬底形成沟槽（槽刻蚀），再在其中回填上介电质（回填）作为相邻器件之间的绝缘体的一种器件隔离方法。
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