单项选择题
A.N2 B.CO C.H2 D.CO2
CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）A.Process ChamberB.Transf...
单项选择题CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
A.Process Chamber B.Transfer Chamber C.DSSL D.Scrubber
CVD中起到冷却作用的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer ChamberC.DS...
单项选择题CVD中起到冷却作用的设备是（）
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）A.EPD（末端探测仪）B.MFC（质量流量控制器...
单项选择题下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）
A.EPD（末端探测仪） B.MFC（质量流量控制器） C.Orifice（过压阀） D.APC（自动压力控制器）
