单项选择题
A.EPD（末端探测仪） B.MFC（质量流量控制器） C.Orifice（过压阀） D.APC（自动压力控制器）
相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）A.刻蚀精度高B.刻蚀速度高C.运营成本低D.更...
单项选择题相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）
A.刻蚀精度高 B.刻蚀速度高 C.运营成本低 D.更环保
CVD设备中内部有Robot的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer Chamber...
单项选择题CVD设备中内部有Robot的设备是（）
A.Process Chamber B.Transfer Chamber C.DSSL D.Scrubber
CVD中主要进行镀膜的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer ChamberC.DS...
单项选择题CVD中主要进行镀膜的设备是（）
