单项选择题
A.Process Chamber B.Transfer Chamber C.DSSL D.Scrubber
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）A.EPD（末端探测仪）B.MFC（质量流量控制器...
单项选择题下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）
A.EPD（末端探测仪） B.MFC（质量流量控制器） C.Orifice（过压阀） D.APC（自动压力控制器）
相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）A.刻蚀精度高B.刻蚀速度高C.运营成本低D.更...
单项选择题相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）
A.刻蚀精度高 B.刻蚀速度高 C.运营成本低 D.更环保
CVD设备中内部有Robot的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer Chamber...
单项选择题CVD设备中内部有Robot的设备是（）
