简答题 计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm， NA=0.65，  K是0.6。

如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？

问答题如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？

列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。

问答题列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。

陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？

问答题陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？