简答题 写出计算焦深的公试。

计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm，NA=0.65，K是0.6。

问答题计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm， NA=0.65，  K是0.6。

如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？

问答题如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？

列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。

问答题列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。