硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对（）、（）、砷（As）、锑（Sb）等元素具有（）作用。

热氧化制备SiO2的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。

填空题热氧化制备SiO₂的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。

常规的硅材料抛光方式有：（）抛光，（）抛光，（）抛光等。

填空题常规的硅材料抛光方式有：（）抛光，（）抛光，（）抛光等。

提拉出合格的单晶硅棒后，还要经过（）、（）、（）等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。

填空题提拉出合格的单晶硅棒后，还要经过（）、（）、（）等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。