填空题
机械；化学；机械化学
提拉出合格的单晶硅棒后，还要经过（）、（）、（）等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。
填空题提拉出合格的单晶硅棒后，还要经过（）、（）、（）等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。
直拉法单晶生长过程包括（）、（）、（）、（）、（）等步骤。
填空题直拉法单晶生长过程包括（）、（）、（）、（）、（）等步骤。
高纯硅制备过程为（）→（）→（）→（）→（）。
填空题高纯硅制备过程为（）→（）→（）→（）→（）。
