填空题
机械;化学;机械化学
提拉出合格的单晶硅棒后,还要经过()、()、()等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。
填空题提拉出合格的单晶硅棒后,还要经过()、()、()等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。
直拉法单晶生长过程包括()、()、()、()、()等步骤。
填空题直拉法单晶生长过程包括()、()、()、()、()等步骤。
高纯硅制备过程为()→()→()→()→()。
填空题高纯硅制备过程为()→()→()→()→()。