问答题
正性光刻胶受光或紫外线照射后感光的部分发生光分解反应，可溶于显影液，未感光的部分显影后仍然留在晶圆的表面，它一般适合做长......
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简述光刻工艺步骤。
问答题简述光刻工艺步骤。
光刻的作用是什么？列举两种常用曝光方式。
问答题光刻的作用是什么？列举两种常用曝光方式。
比较整版掩模和单片掩模的区别，并列举三种掩模的制造方法。
问答题比较整版掩模和单片掩模的区别，并列举三种掩模的制造方法。
