问答题
增大了曝光场，可以获得较大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。
解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
问答题解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
问答题光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
问答题例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
