多项选择题
溅射的方法非常多其中包括（）。A.直流溅射 B.交流溅射 C.反应溅射 D.二级溅射 E.三级溅射
多项选择题溅射的方法非常多其中包括（）。
一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。A.产生一个离子并导向靶B.被轰击的原子向硅晶片运动C.离子把靶上的原...
多项选择题一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。
A.产生一个离子并导向靶 B.被轰击的原子向硅晶片运动 C.离子把靶上的原子轰出来 D.经过加速电场加速 E.原子在硅晶片表面凝结
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。A.溅射率B.溅射系数C.溅射效率D.溅射比
单项选择题（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
A.溅射率 B.溅射系数 C.溅射效率 D.溅射比
