‌不同压力下，气体的流动状态可以分（），粘滞流和介于两者之间的过渡状态。

以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）A.熔结B.原子填充C.吞并D.原子团迁移

单项选择题以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）

对于LPCVD Si3N4工艺，NH3/DCS比例越小颗粒改善越明显。（）

判断题对于LPCVD Si₃N₄工艺，NH₃/DCS比例越小颗粒改善越明显。（）

在LPCVD Si3N4制程中，增加总压力和DCS的分压可以增加淀积速度。（）

判断题在LPCVD Si₃N₄制程中，增加总压力和DCS的分压可以增加淀积速度。（）