简答题 SiO₂-Si界面中存在几种电荷？对器件性能有哪些影响？工艺上如何降低它们的密度？

为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？

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离子注入后的RTA流程

问答题离子注入后的RTA流程

氮化硅在IC芯片上的用途

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