问答题

简答题为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？

【参考答案】

消除晶格损伤，恢复载流子寿命以及迁移率，激活一定比列的掺杂原子。
降低了退火温度或者说减少了退火时间，减少了退......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)

微电子学