问答题
前工序：（1）图形转换技术：主要包括光刻、刻蚀等技术（2）薄膜制备技术：主要包括外延、氧化、化学......
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简述反应离子刻蚀。
问答题简述反应离子刻蚀。
什么是等离子刻蚀？
问答题什么是等离子刻蚀？
简述溅射与离子束铣蚀。
问答题简述溅射与离子束铣蚀。
