问答题
通过活性离子对衬底的物理轰击和化学反应双重作用刻蚀。具有溅射刻蚀和等离子刻蚀两者的优点，同时兼有各向异性和选择性好的优点......
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什么是等离子刻蚀？
问答题什么是等离子刻蚀？
简述溅射与离子束铣蚀。
问答题简述溅射与离子束铣蚀。
什么是干法刻蚀？
问答题什么是干法刻蚀？
