离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。A.电子振荡放电B.离子自动放电C.低电压弧光放电D.双等离子...

单项选择题在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。A.砷化氢B.二硼化氢C.四氟化硅D.三氟化磷E.五氟化磷

多项选择题离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。A.中子源B.离子源C.电子源D.质子源

单项选择题离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。