问答题
氯气、溴气、氯/溴气原因：因为氟基气体的刻蚀是各向同性的并且对光刻胶的选择比一般，为了避免击掉下一层的氧化物......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
描述平板反应器。
问答题描述平板反应器。
二氧化硅，铝，硅和光刻胶刻蚀分别使用什么化学气体来实现干法刻蚀？
问答题二氧化硅，铝，硅和光刻胶刻蚀分别使用什么化学气体来实现干法刻蚀？
列出在干法刻蚀中发生刻蚀反应的六种方法？
问答题列出在干法刻蚀中发生刻蚀反应的六种方法？
