问答题
1.对不需要刻蚀的材料的高选择比2.获得可接受的产能的刻蚀速率3.好的侧壁剖面控制4......
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列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？
问答题列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？
干法刻蚀有高的还是低的选择比？
问答题干法刻蚀有高的还是低的选择比？
描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？
问答题描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？
