问答题
（1）高温分解：通常在无氧的条件下，通过加热化合物分解（2）光分解：利用辐射使化合物的化学键断裂分解
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简述淀积膜的过程的三种不同阶段
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简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点
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简述干法刻蚀的应用
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