多项选择题
A.分子阻挡B.离子阻挡C.原子核阻挡D.电子阻挡
扩散掺杂的优点有（）A.设备简单B.效率高C.成本低D.杂质纯度高
多项选择题扩散掺杂的优点有（）
A.设备简单B.效率高C.成本低D.杂质纯度高
抑制通道效应的方法有（）A.破坏表面硅原子的排列（预先浅注入）B.将晶圆倾斜一定的角度C.表面铺一层非结晶材质...
多项选择题抑制通道效应的方法有（）
A.破坏表面硅原子的排列（预先浅注入）B.将晶圆倾斜一定的角度C.表面铺一层非结晶材质SiO2D.进行快速热退火
离子注入过程中，常用的退火方法有（）A.高温退火B.快速热退火C.氧化退火D.电阻丝退火
多项选择题离子注入过程中，常用的退火方法有（）
A.高温退火B.快速热退火C.氧化退火D.电阻丝退火
