刻蚀机的维护保养重点在于（）。

提高刻蚀速率的方法不包括（）。A.增加刻蚀气体流量B.提高温度C.降低压力D.减小刻蚀面积

单项选择题提高刻蚀速率的方法不包括（）。

刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。A.器件性能B.材料纯度C.生产效率D.成本

单项选择题刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。

刻蚀机的精度主要取决于（）。A.刻蚀方法B.刻蚀气体C.设备结构D.控制系统

单项选择题刻蚀机的精度主要取决于（）。