问答题
(1)铝与P型硅及高浓度N型硅均能形成低欧姆接触;(2)电阻率低;(3)与SiO2......(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。
问答题例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。
解释下列名词:互连、接触、通孔和填充塞。
问答题解释下列名词:互连、接触、通孔和填充塞。
采用LPCVD TEOS淀积的是什么膜?这层膜的优点是什么?
问答题采用LPCVD TEOS淀积的是什么膜?这层膜的优点是什么?