以下不属于电子束加热的优点的是（）。

‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。A.气相输运B.薄膜淀积C.薄膜定向D.加热蒸发

单项选择题‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。

以下磷（P）源属于气态源的是（）。A.POCl3B.P2O5C.PH3D.PCl3

单项选择题以下磷（P）源属于气态源的是（）。

‌以下哪一项不属于扩散的局限性？（）A.工艺简单B.高温、深结C.不能独立控制结深和浓度D.横向扩散

单项选择题‌以下哪一项不属于扩散的局限性？（）