单项选择题
A.工艺简单B.高温、深结C.不能独立控制结深和浓度D.横向扩散
扩散的杂质分布包括()和有限表面源分布。A.无限表面源分布B.杂质总量分布C.恒定表面源分布D.表面源分布
单项选择题扩散的杂质分布包括()和有限表面源分布。
A.无限表面源分布B.杂质总量分布C.恒定表面源分布D.表面源分布
根据扩散系数的定义,其受以下哪个因素的影响最大?()A.杂质类型B.扩散时间C.杂质激活能D.温度
单项选择题根据扩散系数的定义,其受以下哪个因素的影响最大?()
A.杂质类型B.扩散时间C.杂质激活能D.温度
扩散的微观机制包括间隙式扩散和()。A.面扩散B.均匀扩散C.梯度扩散D.替位式扩散
单项选择题扩散的微观机制包括间隙式扩散和()。
A.面扩散B.均匀扩散C.梯度扩散D.替位式扩散