‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。

以下磷（P）源属于气态源的是（）。A.POCl3B.P2O5C.PH3D.PCl3

单项选择题以下磷（P）源属于气态源的是（）。

‌以下哪一项不属于扩散的局限性？（）A.工艺简单B.高温、深结C.不能独立控制结深和浓度D.横向扩散

单项选择题‌以下哪一项不属于扩散的局限性？（）

扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。A.无限表面源分布B.杂质总量分布C.恒定表面源分布D.表面源分布

单项选择题扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。