简答题 说明用硅材料采用CMOS工艺可形成哪些元件、电路形式以及可达到的电路规模？

离子注入法有哪些优点？

问答题离子注入法有哪些优点？

掺杂的目的是什么？掺杂在何时进行？惨杂方法有哪几种？

问答题掺杂的目的是什么？掺杂在何时进行？惨杂方法有哪几种？

什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？

问答题什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？