环境温度的变化可影响硅片的涂胶均匀性，通常将环境温度设定于（）。

光刻胶对人部分可见光敏感，但对（）光不敏感。A.黄B.红C.紫D.蓝

单项选择题光刻胶对人部分可见光敏感，但对（）光不敏感。

高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）A.416nmB.405nmC.3...

单项选择题高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）

坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。A.100℃～150℃B.130℃～200℃C.110～130℃D....

单项选择题坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。