高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）

坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。A.100℃～150℃B.130℃～200℃C.110～130℃D....

单项选择题坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。

在显影过程中，对于正性抗蚀剂，显影液的使用要求是（）。A.显影液可以使用丁酮B.显影液可以使用甲苯C.显影液可...

单项选择题在显影过程中，对于正性抗蚀剂，显影液的使用要求是（）。

当需要刻蚀的图形尺寸大于3um时，一般使用（）。A.湿法刻蚀B.溅射刻蚀C.等离子体刻蚀D.反应离子刻蚀

单项选择题当需要刻蚀的图形尺寸大于3um时，一般使用（）。