问答题
背沟道阻挡结构中第一层的SiOx绝缘膜制作完成后加了一道清洗。两层绝缘膜之间加的这次清洗称为层间清洗，作用是为减少针孔。
述5次光刻中第5次像素电极光刻形成的ITO的作用。
问答题述5次光刻中第5次像素电极光刻形成的ITO的作用。
简述沟道切断的作用。
问答题简述沟道切断的作用。
简述4次光刻的工艺流程。
问答题简述4次光刻的工艺流程。
