刻蚀机的自动化程度主要体现在（）。

以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？A.材料结构B.刻蚀气体浓度C.刻蚀时间D.刻蚀温度

单项选择题以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？

刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？A.光源波长B.镜头质量C.刻蚀气体种类D.样品表面平整度

单项选择题刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？

以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？A.激光刻蚀B.干法刻蚀C.湿法刻蚀D.三者均可

单项选择题以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？