问答题

简答题 什么叫“结尖刺效应”,集成电路工艺中如何避免铝的结尖刺效应?

【参考答案】

硅可以溶解在铝中。在源/漏区,铝金属会与硅直接接触,硅会溶入铝中,而铝会扩散进入硅内形成铝尖凸物。铝的尖凸物可以穿透掺杂......

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