问答题
硅可以溶解在铝中。在源/漏区,铝金属会与硅直接接触,硅会溶入铝中,而铝会扩散进入硅内形成铝尖凸物。铝的尖凸物可以穿透掺杂......
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90年代以前,哪些因素影响铜用于IC工艺
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半导体工艺中电介质薄膜的应用
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简述源材料扩散穿过边界表面时的两种表面吸附
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