问答题
化学吸附:衬底表面的原子与吸附的源材料的分子内的原子形成化学键; 物理吸附:吸附在源材料的表面
简述CVD工艺的的工艺流程
问答题简述CVD工艺的的工艺流程
热生长氧化物和CVD氧化物的本质区别是什么?
问答题热生长氧化物和CVD氧化物的本质区别是什么?
半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型
问答题半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型